用于 CVD 和 ALD 前体的不锈钢圆筒附有制造商的个人护照。
不锈钢钢瓶专为 CVD 和 ALD 试剂及前体而设计。气缸采用电化学抛光不锈钢制成,粗糙度小于 1 Ra。
内表面和焊缝是专门针对腐蚀性前体而准备的。气密性由氦检漏仪控制。
整套起泡器根据客户的规格确定,包括适配器和隔膜阀。
重量,公斤:1.4
最大工作压力,MPa:1.6
工作体积,毫升:180
起重能力m3/h(Kv):0.22
工作温度范围,°C:10 至 120
高度取决于配置,毫米:232
气缸宽度/包括阀门的宽度,毫米:57/108。