ابحث

مجهر مسبار المسح (СЗМ) مجهزة أصحاب التحقيق المتخصصة والمعدات البصرية اللازمة لإجراء البحوث باستخدام تأثير المجال القريب. يعتمد الفحص المجهري البصري القريب من المجال على استخدام خصائص المجال القريب (الزائل) ، مما يجعل من الممكن التغلب على حد الحيود للفحص المجهري البصري الكلاسيكي. تتضمن جميع المجاهر القريبة من المجال العديد من عناصر التصميم الأساسية: مسبار; نظام نقل التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة على طول 2 (X-Y) أو 3 (X-Y-Z) الإحداثيات (نظام المسح الضوئي); نظام التسجيل; النظام البصري.

NTEGRA Prima تنفذ عدة طرق المسح الضوئي: عينة المسح الضوئي ، التحقيق المسح الضوئي والمسح المزدوج. في هذا الصدد ، يعد النظام مثاليا لفحص العينات الصغيرة ذات الدقة العالية جدا ، وكذلك العينات الكبيرة في نطاقات المسح حتى 100 * 100 * 10 ميكرون. يسمح الوضع الفريد *DualScan * بالقياسات في الحقول الكبيرة (200-200 ميكرون في المستوى الأفقي و 22 ميكرون في الاتجاه الرأسي) ، والتي يمكن أن تكون مفيدة في دراسة الخلايا الحية ومكونات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة. تقوم مستشعرات التحكم في التغذية المرتدة السعوية المدمجة بثلاثة محاور بتتبع الإزاحة الحقيقية للماسح الضوئي وتعويض العيوب الحتمية للسيراميك ، مثل اللاخطية والزحف والتباطؤ. للتلاعب وأنماط الطباعة الحجرية ، والتنسيق الدقيق من ناتئ في حقول صغيرة تصل إلى 10 1 10 نانومتر مطلوب ، والتي يتم توفيرها من قبل أجهزة الاستشعار المثبتة في АСМ NTEGRA Primaمع نسبة إشارة إلى الضوضاء عالية. NTEGRA Prima لديه المدمج في نظام بصري مع قرار من 1 أوكتم ، والتي من الممكن لمراقبة عملية المسح في الوقت الحقيقي

وهي مصممة لإجراء دراسات شاملة لخصائص السطح باستخدام الفحص المجهري البصري والتحليل الطيفي والمسح المجهري للمسبار. انها تسمح للحصول على كامل تشتت رامان و / أو أطياف مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، صور СЗМ. تصميم مجمع Centaur I HR يسمح لك للعمل مع كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر القوة الذرية) والجمع بين التقنيات (АСМ-Раман ، ليزر متحد البؤر و АСМ).

الأبعاد المدمجة أتمتة كاملة للنظام التصميم الأصلي من مطياف فتحة عالية للجهاز مع الحد الأدنى من الخسائر البصرية. يتم تصنيع الدائرة متحد البؤر وفقا للمخطط الأصلي ، وتوفر أبعادا مدمجة وأقل انجرافات للعناصر البصرية. يوفر المجهر الضوئي المدمج البحث عن موقع مناسب للقياسات. تستخدم المكونات الميكانيكية الدقيقة والبصريات في التصميم. يمكن استخدامه في كل من المختبرات الصناعية والجامعات البحثية.

وهي مصممة للتحقيقات المعقدة للخصائص الفيزيائية للسطح بطرق الفحص المجهري البصري الكلاسيكي ، الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر ، التحليل الطيفي متحد البؤر والمسح المجهري للمسبار (الفحص المجهري للقوة الذرية). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان أو رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.). المجهري). . فإنه يسمح الحصول على أطياف كاملة من رامان (رامان) تشتت و/أو مضان ، ليزر متحد البؤر والصور الطيفية متحد البؤر (رسم الخرائط السطحية) ، СЗМ (АСМ) الصور. تصميم مجمع Centaur Duos يسمح باستخدام كل من تقنيات منفصلة (على سبيل المثال ، المجهر متحد البؤر/التحليل الطيفي) والجمع بين التقنيات (بما في ذلك الجمع بين حقول المسح ، АСМ/Раман الدراسات ، الخ.).

مسح المجهر التحقيق (СЗМ) جنبا إلى جنب مع المجهر الضوئي المباشر من فئة البحوث. الغرض منه هو البحث عن طريق طرق الفحص المجهري للقوة البصرية والذرية. Certus XYZ СЗМ المسح رئيس ل أفم التصوير (التضاريس بشكل عام) و/أو تحديد المواقع من التحقيق بالنسبة إلى سطح العينة; جهاز تحديد المواقع والمسح الضوئي(XY(Z) بيزوستوليك) Ratis لتحديد المواقع العينة بالنسبة إلى مجال الرؤية من المجهر و/أو مسح العينة; مجهر بصري مباشر (Olympus BX 51 كمعيار) لعرض موضوع البحث وتوجيه المسبار إلى موضوع البحث أو وضع العينة بالنسبة إلى مجال رؤية المجهر; الميكانيكية Z الحركة للعدسة; حركة بيزو أحادية المحور للعدسة المتجهة للحصول على دقة تركيز إضافية, التركيز التلقائي والطبقات واسعة المجال 3d الصور; جهاز تحديد المواقع عينة لاختيار منطقة على سطح أو في وحدة تخزين; وحدة تحكم واحدة على سبيل EG-3000 للتحكم في جميع أجزاء المجمع; برنامج NSpec.