الإنتاجية العالية للتثبيت تجعل من الممكن استخدامه للإنتاج الضخم لمنتجات الإلكترونيات الدقيقة.
وقد تم تجهيز التثبيت مع اثنين من المغنطرون ومصدر تنقية أيون.
فراغ: ما يصل إلى -0.80 كجم \قوة / 2 سم مربع
استهلاك الطاقة: 75W
شبكة امدادات الطاقة: مرحلة واحدة، 220V 50Hz
الأبعاد: mm x 220 mm x310 mm x 170
الوزن: 5 كجم