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修改"B"的VK-3m2真空压缩机由灰铸铁和普通等级的钢制成，修改"H"-工作轮由铝制成，其余部件由铸铁和普通等级的钢制成。 压缩机转子的旋转可以向左或向右。用途：改装"B"和"H"的vk-ZM2真空压缩机的安装旨在在封闭设备中创建真空或小超压。主要应用领域："B"改装的VK-ZM2真空压缩机的安装设计用于空气提取和在真空机器上用于输送水。改性"H"设计用于吸入由物质蒸发形成的侵蚀性混合物。技术性能：初始压力，标称，abs。,MPa(kgf/cm2)， 在泵模式0.04(0.4)， 在压缩机模式0.1(1.0)。 最终压力，标称，abs。,MPa(kgf/cm2) 在泵模式0.1(1.0)， 在压缩机模式0.15(1.5)。初始和最终压力标称值下的生产率，m3/min， 在压力（初始）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.04(0.4)2.2±10%， 在压力（最终）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.15(1.5)2.2±10%， 在压力（最终）abs。,-MPa(kgf/cm2)0.2(2.0)1.35±10%，耗电量不超过千瓦， 泵模式下6.0±10%， 在压缩机模式7.5±10% ，转子转速，rpm1500， 要倒入的油量，l10.0， 每份外卖的石油消耗量，g/h40.0， 通过轴封漏油，不超过，cm3/h20.0， 油加热温度最高。，OS100.0， 真空压缩机的质量，不超过，公斤， 修改"B"135， 修改"H"123。

记录剂量率水平和超过阈值水平的数据 将检测单元和温度传感器放置在距离控制面板最多1km的距离处的可能性 避免直接受吃水的额外保护

同轴双轴旋转输入（同轴）。 专为客户的运输系统设计，可将旋转运动从驱动器传递到真空室装载机，从而确保机械手在将硅片从气闸运输到工艺模块时的径向和直线运动。适用于集群式工厂。 MJU 的特点如下 -中心轴直径（大气/真空）： 12/15 毫米； -径向轴直径（大气压/真空）：48/34 毫米 48/34 毫米； -过程和气闸模块中的压力极限： 1*10-6Pa； -中心轴和径向轴的旋转角速度：20 r/sec； -氦气流量不超过 10-12 立方米/秒。

具有标准准直器的辐射源 • 带有钨和铅防护的旋转式源转盘 • 程序控制源的移动和可移动平台的定位 • 辐射控制系统和锁定系统以确保设备的安全性 • 可通过操作面板或计算机进行控制和校准自动化功能

我们生产与国外知名制造商类似的磁流体密封件（MFS），并根据客户的技术要求开发独创的旋转输入。我们的主要客户是电子工业真空工艺设备制造商。 磁流体密封（MFS，旋转压盖）是一种可移动的机械装置，其中的密封元件是由永久磁铁固定在凹槽系统中的磁流体，具有很高的密封性。由于液体存在于运动部件和固定部件之间的密封间隙中，因此摩擦极低，从而保证了旋转输入的可靠性。位于磁流体密封外壳内的轴承可承受来自轴的轴向和径向载荷。 磁流体密封的优点 - 无需维护和耗材； - 使用寿命长（至少 10 年）； - 抗旋转扭矩低（比传统压盖密封低 5 倍）； - 不产生磨损产品； - 密封性高。真空深度不低于 10-6 Pa。氦气泄漏量不超过 10-12 m3Pa/c（参考：压盖密封的氦气泄漏量为 10-8 m3Pa/c）； - 破裂时可自愈； - 抗辐射； - 细菌无菌。

该产品用于在反应器内温度较高的真空装置中传输技术单元的旋转，同时保持活动接头的密封性。该产品是由磁流体密封和冷却装置组成的复合圆柱形结构。 输入轴和磁极环之间的间隙由磁场保持的磁性流体提供连接的真空密封性。冷却装置为水冷式。水密性由两个唇形密封件（35×55×10 HMS5 RG）提供。该产品的设计允许对冷却装置进行维护，并在唇形密封圈磨损时进行更换。通过两个 G1/4" 接头将水连接到旋转进水口 AP 09.100.00。 旋转输入轴真空侧的法兰采用 CF16 标准。轴上有一个中心孔，用于拉动轴上的电缆，为位于腔室（反应釜）内部空间的负载供电。 产品重量为 4.1 千克 产品尺寸 Ø100*284 毫米 从大气一侧看，产品轴的直径为 25 毫米 真空部分的产品轴直径 34 mm 真空部分轴法兰标准 CF16 轴转速：最高 180 rpm。 产品保持的极限真空：最高 10-5 Pa 氦气流量：最大 10-11 m3Pa/s

无论是在室内还是在现场，当使用众所周知的卤素泄漏检测方法时，仪器都可以通过量油尺法进行操作。检测气体为任何含卤素的气体。

目的: 保护模块测试仪（TMZ）"Groza"是为自动验证各种类型的脉冲过压保护元件和设备的可用性和参数测量而设计的。 使用测量适配器将测试的超声波传感器连接到TMZ。 使用适配器允许您同时检查多个超声波传感器，例如，使用AI Groza-PC，您可以检查10个交叉保护模块。 当使用个人计算机时，TMZ的能力显着扩展，使用该计算机设置测量参数，以方便的方式显示测量结果，处理和存档。 测试仪监测避雷器的静态击穿电压、压敏电阻的分类电压、引入导线的电阻、不对称电阻和导线的绝缘电阻等参数。 技术特点: TMZ有两种操作模式: -手动，用于使用测量电缆测量1极和2极元件和保护装置的参数; -自动化，使用PC、软件和受控测量适配器同时检查多个相同类型的设备。 测量适配器单独出售。 TMZ不是一个测量设备，而是一个测试设备，并根据GOSTR8.568-97进行认证，并附带初级认证。 为了加快测量过程，除了标准(100V/s)之外，还使用了增加(1000V/s)的测试电压上升速率。 订购资料: 订购时的指示示例: TMZ"Groza"保护模块测试仪 测量适配器AI"Groza-PK1" 测量适配器AI"Groza-8s8r" 制造商是Kommenge LLC。 您可以在制造商的网站上找到完整的技术说明www.commeng.ru